承建时间：2013年9月-2014年3月
建筑面积：5.7万平方米
洁净面积：6000平方米
洁净级别：十级~千级
承包范围：本项目为2、3层（6英寸）和4层（实验室），B1、1层预留（8英寸）；专业内容：内装、管道、电气、自控、暖通
项目亮点：填补研发机构与规模代工厂之间的空白，满足MEMS相关中小企业工艺研发和小批量生产的需求，促进MEMS中小企业成长和产业快速提升。
项目高清效果图（鸟瞰图）
